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产品分类
产品简介
应用领域： ●实验分析 、科研开发 ●集成电路制造 、MAMS ●单晶硅、多晶硅及硅外延 ●LED、TFT ●氮化镓、碳化硅等 ●气体吹扫、焊接 ●氨气纯化器应用于科研院校 ●小型终端氢气纯化器应用于高科技仪器公司 ●常温使用 ●重复再生 ●杂质脱除深度高 ●内置微米过滤器，独特结构， 防止堵塞 ●可根据用户需要定制各种型号 ●使用成本低
8NP系列常规型号一览表 | |||||||||||||
适用气体 | N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL | ||||||||||||
处理量 | 5 | 10 | 20 | 30 | 50 | 100 | 150 | 200 | 300 | 500 | 800 | 1000 | |
长度 | 120 | 150 | 225 | 220 | 200 | 385 | 465 | 360 | 508 | 760 | 600 | 716 | |
直径 | 2’ | 2.5’ | 3’ | 4’ | 6’ | ||||||||
进/出气口接头 | 1/4 VCR | 1/2 VCR |
使用压力 | 1.0Mpa |
******气体压差 | 0.1 Mpa |
纯化指标 | 单项杂质＜1ppb |
使用寿命 | 六个月（返厂再生） |
Ø 可根据客户要求，定制特殊型号产品。 | |
9NP系列常规型号一览表 | ||||||||||||
适用气体 | N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL | |||||||||||
处理量 | 5 | 10 | 20 | 30 | 50 | 100 | 150 | 200 | 300 | 500 | 800 | 1000 |
长度 | 130 | 180 | 275 | 260 | 380 | 500 | 435 | 550 | 780 | 600 | 900 | 1100 |
直径 | 2’ | 2.5’ | 3’ | 4’ | 6’ | |||||||
进/出气口接头 | 1/4 VCR | 1/2 VCR | ||||||||||
使用压力 | 1.0Mpa | |||||||||||
******气体压差 | 0.1 Mpa | |||||||||||
纯化指标 | 单项杂质＜0.1ppb | |||||||||||
使用寿命 | 六个月（返厂再生） | |||||||||||
Ø 可根据客户要求，定制特殊型号产品。 | ||||||||||||
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